System and methods for spin-on coating of self-assembled monolayers or periodic organosilicates on a substrate

WO2015095073 Art A1 25. Juni 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015095073
Aktenzeichen: EP14872980
Anmeldetag: 15. Dezember 2014
Veröffentlichung: 25. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/56H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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