Metal oxide-polymer composite particles for chemical mechanical planarization

WO2015095154 Art A1 25. Juni 2015

Anmelder: Cabot Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015095154
Aktenzeichen
EP14821454
Anmeldetag
16. Dezember 2014
Veröffentlichung
25. Juni 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02H01L21/304C09G1/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cabot Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot

Cabot ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien, unter anderem Industrieruß und Silica-Produkten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Kunststoff- und Halbleitertechnik, ergänzt durch anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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