Ni:nige:ge selective etch formulations and method of using same
WO2015095175
Art A1
25. Juni 2015
Anmelder: Entegris, Inc., ATMI Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015095175
- Aktenzeichen
- EP14873014
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/18H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
ATMI Taiwan Co., Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.