Glass ceramic for ultraviolet lithography and method of manufacturing thereof

WO2015095803 Art A1 25. Juni 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015095803
Aktenzeichen: EP14872135
Anmeldetag: 19. Dezember 2014
Veröffentlichung: 25. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C03C17/00C03C17/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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