Cyclopentadienyl titanium alkoxides with ozone activated ligands for ald of tio2

WO2015095845 Art A1 25. Juni 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015095845
Aktenzeichen: EP14871343
Anmeldetag: 20. Dezember 2014
Veröffentlichung: 25. Juni 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/28C23C16/18C23C14/22C23C14/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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