Method for forming single crystal sic epitaxial film

WO2015097852 Art A1 2. Juli 2015

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015097852
Aktenzeichen
EP13899990
Anmeldetag
27. Dezember 2013
Veröffentlichung
2. Juli 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C30B19/04C30B25/20C30B29/36H01L21/208
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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