Apparatus for producing sic epitaxial wafer and method for producing sic epitaxial wafer

WO2015098283 Art A1 2. Juli 2015

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015098283
Aktenzeichen: EP14873440
Anmeldetag: 30. Oktober 2014
Veröffentlichung: 2. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/42C23C16/458C30B25/20H01L21/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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