Pattern measurement device and computer program

WO2015098349 Art A1 2. Juli 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015098349
Aktenzeichen
EP14874300
Anmeldetag
17. November 2014
Veröffentlichung
2. Juli 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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