Apparatus and method for fine-tuning magnet arrays with localized energy delivery
WO2015100076
Art A1
2. Juli 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015100076
- Aktenzeichen
- EP14873348
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 2. Juli 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01F41/02H01F7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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