Überwachungsmethode zur Richtigen Bestückung von Beschichtungsanlagen

WO2015101409 Art A1 9. Juli 2015

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015101409
Aktenzeichen: EP14824377
Anmeldetag: 21. Dezember 2014
Veröffentlichung: 9. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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