Robot apparatus, drive assemblies, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing

WO2015103089 Art A1 9. Juli 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015103089
Aktenzeichen: EP14876999
Anmeldetag: 26. Dezember 2014
Veröffentlichung: 9. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: B25J18/04B25J17/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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