Epitaxial wafer manufacturing method and epitaxial wafer

WO2015104755 Art A1 16. Juli 2015

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015104755
Aktenzeichen
EP14878317
Anmeldetag
10. Dezember 2014
Veröffentlichung
16. Juli 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/322H01L21/20H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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