Metal/ceramic bonded body, diaphragm vacuum gauge, bonding method for metal and ceramic, and production method for diaphragm vacuum gauge

WO2015105148 Art A1 16. Juli 2015

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015105148
Aktenzeichen: EP15734921
Anmeldetag: 8. Januar 2015
Veröffentlichung: 16. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C04B37/02G01L9/00G01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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