Cobalt Manganese Vapor Phase Deposition

WO2015105953 Art A1 16. Juli 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015105953
Aktenzeichen
EP15734886
Anmeldetag
8. Januar 2015
Veröffentlichung
16. Juli 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3205H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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