Inspection of regions of interest using an electron beam system

WO2015106212 Art A1 16. Juli 2015

Anmelder: Applied Materials Israel, Ltd., Applied Materials, Inc. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015106212
Aktenzeichen: EP15734923
Anmeldetag: 12. Januar 2015
Veröffentlichung: 16. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel, Ltd.
Applied Materials, Inc.
Land: 🇮🇱 Israel

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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