Euv-Spiegel und Optisches System mit Euv-Spiegel

WO2015107116 Art A1 23. Juli 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015107116
Aktenzeichen: EP15702146
Anmeldetag: 15. Januar 2015
Veröffentlichung: 23. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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