Particle analysis device, observation device, particle analysis program, and particle analysis method

WO2015108023 Art A1 23. Juli 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015108023
Aktenzeichen: EP15736958
Anmeldetag: 13. Januar 2015
Veröffentlichung: 23. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G01N15/02G01N15/14G01N33/483

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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