Improved Extreme Ultra Violet Light Source

WO2015108420 Art A1 23. Juli 2015

Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015108420
Aktenzeichen: EP15702592
Anmeldetag: 16. Januar 2015
Veröffentlichung: 23. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00G03F7/20

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Technische Universiteit Delft
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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