Pedestal and method for controlling the same, tray, and process chamber

WO2015109656 Art A1 30. Juli 2015

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015109656
Aktenzeichen: EP14879475
Anmeldetag: 3. April 2014
Veröffentlichung: 30. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/52C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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