Method of determining a measurement subset of metrology points on a substrate, associated apparatus and computer program

WO2015110191 Art A1 30. Juli 2015

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015110191
Aktenzeichen: EP14793127
Anmeldetag: 4. November 2014
Veröffentlichung: 30. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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