Coil assembly, electromagnetic actuator, stage positioning device, lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2015110240 Art A1 30. Juli 2015

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015110240
Aktenzeichen: EP14827747
Anmeldetag: 19. Dezember 2014
Veröffentlichung: 30. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K41/03H02K1/14H02K3/18H02K1/20H02K3/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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