Charged-particle-beam device, specimen-image acquisition method, and program recording medium

WO2015111307 Art A1 30. Juli 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015111307
Aktenzeichen: EP14879920
Anmeldetag: 3. Dezember 2014
Veröffentlichung: 30. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/16H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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