Pressure-type flow control device and method for preventing overshooting at start of flow control performed by said device

WO2015111391 Art A1 30. Juli 2015

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015111391
Aktenzeichen: EP15740590
Anmeldetag: 15. Januar 2015
Veröffentlichung: 30. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06F16K31/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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