Active filter technology for photoresist dispense system

WO2015113025 Art A1 30. Juli 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015113025
Aktenzeichen: EP15739772
Anmeldetag: 27. Januar 2015
Veröffentlichung: 30. Juli 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von