Purge device and method for diffusing gas containing purge gas

WO2015114981 Art A1 6. August 2015

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015114981
Aktenzeichen: EP14880654
Anmeldetag: 17. Dezember 2014
Veröffentlichung: 6. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Murata Machinery, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

1.507 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von