Workpiece machining device and workpiece machining method

WO2015115043 Art A1 6. August 2015

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015115043
Aktenzeichen
EP15742770
Anmeldetag
16. Januar 2015
Veröffentlichung
6. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/34B24B7/17B24B37/08H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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