Photocurable composition for nanoimprinting, and method for forming ultrafine pattern using the composition
WO2015115128
Art A1
6. August 2015
Anmelder: Daicel Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015115128
- Aktenzeichen
- EP15743447
- Anmeldetag
- 6. Januar 2015
- Veröffentlichung
- 6. August 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Daicel Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Daicel Corporation
Daicel Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Celluloseacetat, Airbag-Gasgeneratoren und Spezialchemikalien herstellt.
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