Gas confiner assembly for eliminating shadow frame

WO2015116430 Art A1 6. August 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015116430
Aktenzeichen
EP15743252
Anmeldetag
20. Januar 2015
Veröffentlichung
6. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/50C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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