Diffusion Resistant Electrostatic Clamp

WO2015116930 Art A1 6. August 2015

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015116930
Aktenzeichen: EP15743829
Anmeldetag: 30. Januar 2015
Veröffentlichung: 6. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

652 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von