Lighting device, observation device, and observation method

WO2015118634 Art A1 13. August 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015118634
Aktenzeichen
EP14881730
Anmeldetag
5. Februar 2014
Veröffentlichung
13. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G02B21/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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