Gas injection device and auxiliary member

WO2015118775 Art A1 13. August 2015

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015118775
Aktenzeichen: EP14881889
Anmeldetag: 12. Dezember 2014
Veröffentlichung: 13. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Machinery, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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