Substrate holder, plating apparatus, and plating method

WO2015119029 Art A1 13. August 2015

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015119029
Aktenzeichen
EP15746298
Anmeldetag
29. Januar 2015
Veröffentlichung
13. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C25D17/06C25D17/08C25D17/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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