Generating device for generating plasma in tube-shaped body

WO2015119199 Art A1 13. August 2015

Anmelder: Tokyo Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015119199
Aktenzeichen: EP15746965
Anmeldetag: 5. Februar 2015
Veröffentlichung: 13. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/27H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Institute of Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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