Substrate treatment apparatus
WO2015119400
Art A1
13. August 2015
Anmelder: Jusung Engineering Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015119400
- Aktenzeichen
- EP15745796
- Anmeldetag
- 29. Januar 2015
- Veröffentlichung
- 13. August 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Jusung Engineering Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Jusung Engineering
Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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