Substrate treatment apparatus

WO2015119400 Art A1 13. August 2015

Anmelder: Jusung Engineering Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015119400
Aktenzeichen
EP15745796
Anmeldetag
29. Januar 2015
Veröffentlichung
13. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Jusung Engineering Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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