Vorrichtung zum Bestimmen des Massenflusses eines Gases Beziehungsweise Gasgemisches mit Ineinandergeschachtelten Rohrförmigen Filamentanordnungen
WO2015121095
Art A1
20. August 2015
Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015121095
- Aktenzeichen
- EP15703049
- Anmeldetag
- 2. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 20. August 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01F1/684G01F1/69G01F1/698G01F1/699
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Aixtron SE
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Aixtron
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
303 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Rieder, Hans-Joachim
Wuppertal, Deutschland
113
Patente gesamt
22
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte