Magnetisches Verfahren zur Bestimmung einer Dampfkonzentration sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
WO2015121105
Art A1
20. August 2015
Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2015121105
- Aktenzeichen
- EP15703763
- Anmeldetag
- 3. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 20. August 2015
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N27/76
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Aixtron SE
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Aixtron
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
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Fachgebiete
Vertreten von
Rieder, Hans-Joachim
Wuppertal, Deutschland
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10
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