Method for forming carbon electrode film, carbon electrode, and method for manufacturing phase change memory element

WO2015122159 Art A1 20. August 2015

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015122159
Aktenzeichen: EP15748456
Anmeldetag: 5. Februar 2015
Veröffentlichung: 20. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06H01L21/28H01L21/285H01L27/105H01L45/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen