Table apparatus, transfer apparatus, and semiconductor manufacturing apparatus

WO2015122222 Art A1 20. August 2015

Anmelder: NSK Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015122222
Aktenzeichen: EP15749069
Anmeldetag: 9. Januar 2015
Veröffentlichung: 20. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G12B5/00B23Q1/44H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NSK Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NSK

Japanischer Hersteller von Wälzlagern und Präzisionsmaschinenkomponenten mit Sitz in Tokio, unter anderem für Automobil- und Industrieanwendungen.

1.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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