Liquid composition for etching oxides comprising indium, zinc, tin, and oxygen and etching method

WO2015122250 Art A1 20. August 2015

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015122250
Aktenzeichen: EP15749342
Anmeldetag: 21. Januar 2015
Veröffentlichung: 20. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/308C09K13/04C09K13/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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