Erfassung einer Ausbreitungsrichtung eines Optischen Strahls

WO2015124714 Art A1 27. August 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015124714
Aktenzeichen: EP15710117
Anmeldetag: 20. Februar 2015
Veröffentlichung: 27. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/28G02B27/64H05G2/00G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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