Method and device for measuring high-frequency current for use in plasma generation device

WO2015125379 Art A1 27. August 2015

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015125379
Aktenzeichen: EP14883124
Anmeldetag: 8. Dezember 2014
Veröffentlichung: 27. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00G01R19/00H01L21/205H01L21/3065H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissin Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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