Double-headed workpiece grinding method

WO2015125412 Art A1 27. August 2015

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015125412
Aktenzeichen
EP15752243
Anmeldetag
23. Januar 2015
Veröffentlichung
27. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
B24B7/17H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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