Pattern-measuring device and computer program

WO2015125504 Art A1 27. August 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015125504
Aktenzeichen
EP15751523
Anmeldetag
7. Januar 2015
Veröffentlichung
27. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/00G01B15/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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