Cobalt Precursors

WO2015127092 Art A1 27. August 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015127092
Aktenzeichen
EP15751984
Anmeldetag
19. Februar 2015
Veröffentlichung
27. August 2015
Rechtsraum
WO
IPC
C01G51/00H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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