Mitigation Of Euv Shot Noise Replicating Into Acid Shot Noise in Photo-Sensitized Chemically-Amplified Resist

WO2015127348 Art A1 27. August 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015127348
Aktenzeichen: EP15752706
Anmeldetag: 23. Februar 2015
Veröffentlichung: 27. August 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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