Method for forming fin field effect transistor

WO2015127701 Art A1 3. September 2015

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015127701
Aktenzeichen
EP14884131
Anmeldetag
21. März 2014
Veröffentlichung
3. September 2015
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tsinghua University
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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