Stage device and charged particle ray device using the same

WO2015129292 Art A1 3. September 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015129292
Aktenzeichen: EP15755528
Anmeldetag: 7. Januar 2015
Veröffentlichung: 3. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68G03F7/20H01J37/20H01L21/027H02K41/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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