Pattern forming method, method for manufacturing electronic device, electronic device, active-light-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and resist film

WO2015129355 Art A1 3. September 2015

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015129355
Aktenzeichen: EP15755901
Anmeldetag: 23. Januar 2015
Veröffentlichung: 3. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039G03F7/004G03F7/038

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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