Polymer-Containing Coating Liquid Applied To Resist Pattern

WO2015129405 Art A1 3. September 2015

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015129405
Aktenzeichen: EP15754410
Anmeldetag: 3. Februar 2015
Veröffentlichung: 3. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/40G03F7/32H01L21/027C08G77/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von