Pattern forming method, processing agent, electronic device, and method for manufacturing said device

WO2015129505 Art A1 3. September 2015

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015129505
Aktenzeichen: EP15754586
Anmeldetag: 16. Februar 2015
Veröffentlichung: 3. September 2015
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/38G03F7/038G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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